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📰 同飞股份三通道氟化液冷却机顺利通过测试并交付使用，赋能半导体刻蚀工序

同飞股份的SC3FI系列三通道氟化液冷却机近日顺利通过测试并投入使用，专为半导体制造刻蚀工序的冷却需求而研发。这款设备在温度控制精度和稳定性方面具有极高要求，直接影响芯片制造的良率与效率。SC3FI系列凭借多项核心技术突破，精准契合行业痛点，成为半导体加工制造环节的强劲动力。

SC3FI系列冷却机采用“三路供液设计+三系统独立控温架构”，实现精准独立调控，涵盖-20℃至170℃的温控需求，适配刻蚀工序的多环节需求。设备设计紧凑，节省Fab厂空间，采用闭式系统抑制氟化液挥发，降低成本并减少环境影响，实现环保与经济的双重效益。

此外，SC3FI系列依托先进的PID控制算法，实现±0.1℃的高精度控温，保障工艺稳定性。设备还具备实时数据可视化和上位机通讯功能，提升Fab厂管理效率。同飞股份将继续以技术创新为核心，致力于为半导体行业提供更高效、可靠的温控解决方案，助力中国半导体产业高质量发展。

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