📰 “关键里程碑”,阿斯麦:新一代EUV光刻机已准备好量产芯片

路透社报道,全球唯一的商用极紫外(EUV)光刻机制造商阿斯麦(ASML)宣布新一代高数值孔径EUV(High-NA EUV)设备已准备就绪,预计可在大规模生产中提升芯片性能与能效,支持台积电、英特尔等厂商的AI芯片路线图。新设备采用0.55数值孔径光学、实现8纳米分辨率,理论可支撑3纳米及以下制程并为1纳米节点留出技术储备。尽管设备具备量产条件,厂商仍需两到三年进行充分测试与整合进生产线。当前设备的正常运行率约80%,目标年底提升至90%;停机时间显著减少,累计处理过约50万片晶圆。2025年第四季度订单创纪录,超过半数来自EUV设备,全球需求旺盛。中国仍是阿斯麦重要市场,2025年销售额约占33%,但受美国出口限制,2026年中国份额或降至20%。为保障供应链,中国企业正自主研发DUV与EUV光刻机。本文为独家稿件,未经授权不得转载。

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