⁣
📰 定位技术在高精度制造中至关重要

本篇文章聚焦半导体与电子制造领域的定位系统在向纳米与亚微米尺度小型化过程中的关键作用及挑战。随着制程向几纳米推进，对定位系统提出极高的绝对精度、重复性和步长等指标，且需兼顾行程、稳定时间、直线度和平坦度等综合性能。文章指出，空气轴承定位系统在无摩擦、低热且动态性能优越方面具备显著优势，适合高精度场景；而在真空环境下（如极紫外光刻）需改用机械轴承以实现高精度与高重复性，并通过校准与映射等技术来提升绝对精度，甚至可实现>10倍提升。为满足个性化需求，系统通常需定制配置，并结合干涉仪、SiC滑座与晶圆吸盘等智能解决方案提升整体性能与稳定性。未来发展将继续通过更小的工艺节点、材料创新与集成化设计，提升芯片容量与能源效率，同时平衡产量与工艺精度，强调与芯片制造商、系统集成商的深度协同。

🏷️ #定位系统 #空气轴承 #晶圆吸盘 #干涉仪 #真空

🔗 原文链接

⁣
📰 马斯克宣布特斯拉实现干电极电池规模化生产：续航提升约20%

特斯拉通过静电喷涂与热压成型等工艺，将正负极活性材料、导电剂与粘结剂的干粉直接压制成厚度≥100μm的致密电极片，省去了传统涂布-烘干-溶剂回收等三道工序，实现干电极工艺的大规模应用。并示意在现有工艺中的变革性。
此次干电极规模化生产将显著降低电池制造成本与能耗，简化工厂建设与运营，且有助于降低40%至50%的碳排放与污染。干电极还能提升电极容量厚度，电量容纳量约提升20%，从而提升整车续航，4680电池已在ModelY上应用。
从行业层面看，特斯拉的干电极突破打破多项锂电池制造局限，解决溶剂污染，推动行业向绿色低碳转型。该技术兼容性强，能够适配未来更高能量密度的电池产品，并有助于降低对外部供应链的依赖，促进干电极技术在车载和储能领域的普及。

🏷️ #干电极 #降碳 #绿色转型 #锂电池

🔗 原文链接