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📰 锐洁机器人领跑半导体自动化传输行业_产业发展_北京经济技术开发区

在北京亦庄的洁净车间，锐洁机器人专注于半导体自动化传输，推出了高精度的晶圆传输机器人，其重复定位精度达到±50微米，远超传统机械手臂。自2013年成立以来，公司服务超过800家半导体厂商，技术产品填补了国内空白，成为国家高新技术企业。

锐洁机器人的龙门五轴洁净机械手臂具备灵活的运动能力，采用伯努利非接触吸附技术，能够满足晶圆光刻、蚀刻等高精度工艺要求。其半导体自动化传输系统设备实现了在光刻环节的零破片率，极大降低了损失风险，具备自动装载模块，减少人工干预，满足自动化需求。

目前，锐洁机器人已构建五大类产品矩阵，覆盖半导体制造全流程，年均实现20%-30%的营收增长。随着国产替代需求的增加，锐洁机器人将继续致力于技术突破，以满足新制程、新场景的高要求，为中国半导体产业链的自主可控贡献力量。

🏷️ #半导体 #机器人 #自动化 #传输 #精度

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